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一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低2%，比前级泵的极限真空度低5%。被抽气体种类与抽气量?检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。选用真空泵时需要注意事项：真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。